瑞银:中国未来十年恐难开发出可媲美阿斯麦顶尖设备的光刻技术

瑞银集团分析师预计,中国未来十年内半导体制造能力可能难以取得足够快的进展,从而开发出能够真正替代阿斯麦尖端极紫外光刻(EUV)技术的方案。“他们目前所处的阶段似乎与阿斯麦在2004年时相当。”

瑞银分析师指出,从专利申请活动来看,尤其是在光源和雷射子系统领域,中国目前的技术成熟度大致相当于阿斯麦开始大规模生产EUV设备前15年时的水平。

他们表示,“考虑到中国设备在良率和产能方面与阿斯麦可能仍存在差距,再加上监管限制,我们认为中国光刻设备不太可能在中国境外得到应用。”不过,瑞银预计,中国有望在未来两到五年内具备浸没式深紫外(DUV)光刻机的大规模量产能力。

—— 雅虎新闻彭博社
 
 
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